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¡¡¡¡²©Ê¿½áÒµºó£¬¼ÓÈëµÂ¹úSpectro¹«Ë¾¡£Ö÷³ÖÆäʱ¸Õ¸ÕÆð²½µÄµÈÀë×ÓÖÊÆ×(ICP-MS)ÒÇÆ÷µÄÑз¢¡£1993Äê³õ£¬¼ÓÈëÁËÃÀ¹úÓ¡µÚ°²ÄÉ´óѧ(Indiana University)Gary Hieftje µÄÑо¿ÊÒ¡£ÔÚÄÇÀÊ×´ÎÀֳɵؽ«·ÉÐÐʱ¼äÖÊÆ×ÓÃÓÚICPµçÀë¼¼Êõ¡£´Ë¼¼Êõ»ñµÃÃÀ¹úרÀûºó£¬¼¼ÊõתÈøøÁËLeco¹«Ë¾£¬Éú²ú³ö Renaissance ICP-MSÉÌÆ·ÒÇÆ÷¡£
¡¡¡¡1995Äê¼ÓÈëÁË»ÝÆÕʵÑéÊÒ(Hewlett Packard Laboratories)£¬ºóÀ´ÓÖתµ½°²½ÝÂ×ʵÑéÊÒ(Agilent Laboatories)¡£ÔÚHPºÍ AgilentÆÚ¼ä£¬Ö÷Òª×öÖÊÆ×¼¼ÊõµÄǰÑÐÑо¿£¬Ò²¼ÓÈëÁËÐí¶à²úÎïÏîÄ¿µÄ¿ª·¢¡£
¡¡¡¡ÔÚAgilent ÊÂÇéÆÚ¼ä£¬ÒàÓм¸Äê¼ÓÈë¹ý΢Á÷¼¼Êõ(microfludics)£¬ Ô×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µ(atomic force microscope)µÄÑз¢¡£
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